真空烧结炉的工艺基准是绝对压力(残余气体分子数量);表压(相对压力)会随当地大气压昼夜、季节波动漂移,直接导致烧结气氛、分压、脱脂 / 烧结结果不稳定;所以高要求工况优先绝压变送器。
表压变送器(相对压力):测量值 = 炉内压力 − 当前大气压它把现场大气压当作零点基准。上海这类地点,大气压日常波动:98~103 kPa,单日波动可达 ±1~2 kPa;季节变化更大。
绝压变送器(Absolute):测量值 = 炉内真实绝对压力,零点以真空(0 Pa)为基准不受外界大气压变化影响,读数代表炉膛内真实残余压力、气体分压。
真空烧结很多区间:高真空 1 Pa ~ 1000 Pa(脱脂、高温烧结)。 举个直观例子:炉膛真实绝压 50 Pa
大气压 101.3 kPa:表压读数 ≈ −101250 Pa
大气压降到 99.5 kPa:表压读数 ≈ −99450 Pa 炉子里面没变,表压读数自己变了,控制系统会误以为真空度变了,误动作。
分压控制(气氛烧结:氮气、氩气、氢气、分解氨)烧结、脱脂、碳势控制,靠各组分绝对分压计算。 表压模式下,大气压一变,分压计算全部失真:气氛配比跑偏、产品色差、密度不均、脱胶残留、开裂。 粉末冶金、硬质合金、陶瓷、MIM、永磁烧结这个问题最敏感。
真空梯度工艺曲线(分段抽真空、保温保压)工艺设定的 “保真空 50 Pa”,本质是绝压指标。 如果用表压 PID:白天和夜里大气压一变,同一设定值对应的炉膛真实真空不一样;重复性差,同批次不同炉之间品质不一致。
检漏判定保压检漏:关闭阀门,看炉内绝压上升速率(Pa/s),这是标准漏率算法。 表压没法直接用来算漏率,大气压波动会掩盖真实漏点,或者误报泄漏。
✅ 必须绝压:
高真空段:<10 kPa(尤其几百 Pa 及以下脱脂、高温烧结、气氛分压控制、检漏)
需要稳定工艺重复性、出口产品一致性、要做炉次 SPC 统计
含氢气氛烧结(还要叠加临氢镀金、SIL 评估)
⚠️ 表压可以凑合用(低端、低要求):
粗抽、低真空(几千 Pa 以上,仅做简单负压保护,不做精密气氛分压)
只做负压联锁、不做工艺曲线闭环控制
注意:很多厂家习惯口语说 “真空度”,真空度本身就是绝压概念,用表压去测真空度本身就是定义错位。
绝压传感器自带内置参考真空腔,芯片成本高于同量程表压;
真空烧结经常带:有机挥发物(脱脂)、金属蒸汽、腐蚀性气氛;引压要配冷阱 / 过滤器,保护芯片;
阻尼:真空抽气是快速动态过程,阻尼偏小 0.1–0.3 s,防止抽真空阶段滞后导致过抽;
量程选择:不要选大量程绝压测几十 Pa,分辨率不够;低压真空优先小量程绝压。
有人说:DCS 里拿大气压补偿表压信号,换算绝压行不行? 理论可以,但有缺陷:
多一个大气压测点引入额外误差、漂移、故障点;
大气压测点和炉膛压力采样不同步,动态抽气阶段补偿不准;
招标、验收、追溯不方便;精密烧结炉设备商直接用绝压一步到位。
真空烧结炉脱脂、高温烧结、气氛分压控制、检漏的工艺基准为绝对压力;表压变送器受环境大气压波动干扰,同一炉膛真实真空下读数漂移,造成工艺重复性差、产品品质波动;精密真空烧结优先选用绝压变送器。
