一句话总纲

低真空 / 粗抽段（10⁵ Pa ~ 100 Pa）：皮拉尼做宽量程趋势监测 + 抽气时序；电容薄膜 CDG 做工艺闭环基准（气体无关、精度稳）；普通绝压压力变送器只适合靠近大气压的粗抽保护、破空联锁，不适合 10kPa 以下精密真空控制。

真空热处理低真空典型用途：粗抽、预抽、充氩 / 氮分压、气冷保压、检漏升压测试、脱脂前期；很多炉子是「皮拉尼 + CDG 复合」或者两只分工。

三者原理 & 核心短板

1. 皮拉尼 Pirani（热导规）量程：≈10⁵ Pa ～ 0.1 Pa，覆盖粗抽 + 中真空，一只规跨大气到低真空，性价比最高 ✅ 优点：宽量程、便宜、4–20mA/RS485 输出、自带设定点；适合看抽真空曲线、判断泵是否正常、粗抽到位联锁、压升检漏趋势 ❌ 致命短板：读数和气体种类强相关；N₂、Ar、H₂热导率不一样，同压力读数不一样；油汽、裂解碳、水汽污染灯丝，漂移变大，必须定期标定；精度差（典型 ±10~15% 读数），不能作为分压 / 工艺稳压基准

   热处理场景：脱脂阶段挥发物很容易污染钨丝皮拉尼，优先选涂层 / 镍丝款、前端加冷阱 + 颗粒过滤器。

2. 电容薄膜真空计 CDG（Capacitance Diaphragm Gauge）量程按需选（比如 0~100kPa、0~10kPa、0~1kPa 绝压），力学式绝压测量，和气体种类无关Pfeiffer V... ✅ 优点：0.25% FS 高精度、重复性好、H₂/Ar/N₂读值一致；适合分压闭环、气冷保压、保压检漏计算漏率、工艺配方 SPC 追溯；陶瓷膜片耐轻微腐蚀、无热丝污染问题 ❌ 短板：量程窄，一只 CDG 不能从大气一路测到 1Pa；价格远高于皮拉尼；膜片怕颗粒、怕大冲击压差

   高端热处理、气氛分压控制、氢气气氛炉，这只才是工艺主表。

3. 绝压压力变送器（常规工业 PT，硅压阻）量程：一般≥0~10kPa 起步；低于几千 Pa 分辨率快速恶化 ✅ 优点：结构皮实、和你现有压力变送器平台通用、SIL 认证好、备件统一；适合靠近大气压段：破空、回充、气冷高压段（50kPa 以上）的超压保护、安全阀联锁❌ 短板：量程一旦选大，在几百 Pa 低真空段分辨率不足；不是为真空微弱压力设计；不推荐用普通硅压阻 PT 做几百 Pa 级真空工艺控制

三套工程配置方案（按炉子档次选）

方案 A：经济型（常规退火、淬火炉，只做粗抽监测，无精密分压）

单皮拉尼真空规一只，KF16 装炉腔

• 用途：粗抽时序、判断粗抽泵是否抽得动、粗抽到位后启动分子泵 / 扩散泵；只做监测 + 联锁，不做 PID 工艺稳压

• 坑：通氢气、氩气时，读数不准，不能拿这个读数去算分压

适合大部分标准真空淬火炉

方案 B：标准工艺型（推荐最多，脱脂、气氛钎焊、需要分压 / 保压）

皮拉尼 + 小量程 CDG，两只独立测点

• 皮拉尼：全程宽量程，大气→100Pa，抽气曲线、泵状态、粗抽联锁

• CDG（例：0~10 kPa 绝压）：工艺控制主表，脱脂保压、气氛分压、检漏压升率计算；PID 闭环信号取自 CDG

• 进阶简化：直接上复合规 PCG（皮拉尼 + CDG 集成一支），一个 KF 接口，自动切换测量原理，省法兰、省安装空间，撬装真空炉很爱用

方案 C：国产化对标高端炉、氢气热处理、SIL 安全要求高

CDG（工艺控制） + 独立绝压 PT（回充气冷高压段保护） + 皮拉尼（抽气诊断）

• CDG：分压、保压闭环，工艺基准

• 绝压 PT：气冷回充、破空阶段高压侧超压联锁，复用你标准化压力变送器平台、统一备件、统一 HART / 验收体系

• 皮拉尼：设备诊断、泵异常预警、压升趋势辅助判断

• 安全：氢气工况 CDG/PT 都按临氢要求（镀金膜、脱脂、SIL2 评估）

选型边界速查表（低真空段）

表格

真空热处理专属避坑点

1. 脱脂工况（大量有机物裂解）：皮拉尼灯丝极易积碳漂移，必须前置冷阱 + 过滤器；如果脱脂是核心工序，尽量把闭环交给 CDG，皮拉尼只看趋势，不参与工艺判定；

2. 氢气气氛炉：CDG 和氢侧 PT 都要脱脂、临氢抗氢设计；皮拉尼热丝不要选钨丝，氢下容易脆断；

3. 阻尼设置：CDG 阻尼 0.1~0.3s，保证保压 / 检漏响应；皮拉尼可以给到 0.3~0.8s 吸收抽泵脉动；

4. 不要拿工业绝压 PT 替代 CDG 做几百 Pa 真空稳压：分辨率不够，PID 很难稳住，产品一致性差；

5. 对标你前面的 OEM 打包策略：压力变送器负责回充 / 气冷高压保护，真空规（皮拉尼 / CDG）负责炉内真空工艺段，两类测点分工清晰，备件平台分开管理。

规格书一句话模板

炉腔低真空配置：皮拉尼规用于大气至 100Pa 宽量程抽真空监测与粗抽联锁；工艺保压、气氛分压、检漏压升率采用电容薄膜绝压真空计（气体无关，0.25 级）；回充、气冷高压段采用绝压变送器做超压保护；氢气工况仪表脱脂、抗氢设计。