先一句话分工：真空计管高真空、抽真空、精密工艺压力；压力变送器管充气、分压、微正压闭环；水流量开关只做水冷安全联锁，不参与工艺控制。

一、真空计（皮拉尼 + CDG 电容薄膜，真空炉核心工艺表）

1）皮拉尼真空计（粗抽 + 中真空）

• 量程：大气压～0.1 Pa

• 安装位置：炉腔主测点、前级管路

• 负责工作： ① 粗抽阶段监测，判断泵启动、真空下降进度； ② 提供联锁：真空达标才允许启动加热、分子泵； ③ 监测升温放气、粗略检漏；

• 短板：受气体种类影响大，Ar/N₂/H₂气氛下读数不准，不能用来做气氛分压闭环。

2）CDG 电容薄膜真空计（精密真空主表，必配）

• 量程：1000 Pa ~ 0.1 Pa，气体无关，精度不受气氛影响

• 负责工作： ① 百 Pa 级烧结保压、分压 PID 闭环控制； ② 冷态保压、压升率检漏（判定漏率基准）； ③ 充气淬火前真空基准读数；

• 定位：工艺基准表，不能用变送器替代。

二、单晶硅绝压变送器（气氛充气段专用）

• 量程：0～100 kPa（绝压），0.1% FS 起步

• 安装位置：充气管路、缓冲罐、炉腔气氛压力测点

• 负责工作： ① 气氛保压（几千 Pa～几十 kPa）PID 恒压控制； ② 精确测量 Ar/N₂/H₂混合分压，保证烧结气氛配比稳定； ③ 回充、破空阶段压力监测，防止超压； ④ 安全联锁：压力过高触发充气阀关断；

• 分工边界： ✅ ≥5 kPa 气氛段：用单晶硅变送器 ✅ ＜2 kPa 精密保压、检漏：必须用 CDG 真空计，变送器误差会被放大。

三、水流量开关（纯安全保护，不参与工艺）

• 类型：靶式 / 磁力式，开关量（通 / 断），只输出触点信号

• 安装位置：分子泵水冷、电极水冷、炉体水冷每一路回水管

• 负责工作（只有联锁，没有测量）： ① 水流低于设定值 → 立刻切断加热电源、停止分子泵； ② 断水、管路堵塞、停水时自动报警，防止电极、分子泵高温烧毁；

• 补充：只做通断保护；如果需要看实时流量，再加流量变送器。

四、整套真空烧结炉仪表配置分工（直接照单选用）

1. 炉腔主真空：皮拉尼 + CDG（双表对照）

• 皮拉尼：粗抽 + 联锁；CDG：精密保压 + 检漏 + 分压基准

2. 气氛充气回路：0.1% 级单晶硅绝压变送器，控制充气恒压与分压配比

3. 水冷系统：每一路独立配水流量开关（开关量联锁），断水即停加热

4. 前级管路：再加一只皮拉尼，监测前级真空，保护分子泵

五、最简区分口诀

• 几十 Pa 精密真空、检漏、分压基准 → CDG 真空计

• 粗抽、泵联锁、大范围真空监测 → 皮拉尼真空计

• 充气保压、几千 Pa 到 2bar 气氛控制 → 单晶硅绝压变送器

• 水冷防烧、只做断水保护 → 水流量开关（开关量）