核心原则

一条独立冷却支路、需要单独保护 → 单独配一只流量开关；总管流量开关不能替代分支保护。真空炉典型回路：分子泵水冷、加热电极水冷、感应电源水冷、炉壁夹套水冷，每一路都是独立换热对象，分开配。

为什么不能只装总管一只

并联回路痛点：

• 某一条支路堵塞 / 断流，其他支路还在走水，总管总流量下降幅度很小，总管开关识别不到；

• 风险：单支路断流，该支路的分子泵 / 电极持续过热烧毁，总管信号依旧正常，联锁失效。

总管流量开关只能做全局参考预警，严禁作为分支设备的安全停机主保护。

测点布置细则

1. 安装位置：支路回水侧优先（推荐）回水侧更容易保证满管；换热之后，也是最终确认水已经流过发热件。 前置：Y 型过滤器（阻挡焊渣、水垢）；前后保留直管段（前 5D、后 3D）；避开泵出口强脉动段；禁止装在管路最高点（积气气塞，持续误报）。

2. 逻辑独立每一路流量低信号独立进 PLC：

• 分子泵回路流量低 → 联锁分子泵停机；

• 电极回路流量低 → 联锁切断加热； 不是一路报警、全部一刀切停机，方便故障定位、减少不必要停机。

3. 例外场景（可以合并） 只有同组、同功能、风险等级一致、允许一起停机的并联支路，才可以共用；真空热处理几乎不这么用。

4. 搭配水压 / 水温测点的布置建议（和流量配合）

• 高配方案：每支流量开关（联锁） + 支路回水 PT100 温度（预警）；

• 简化预算方案：分支只配流量开关做联锁；回水总管布置一只水压变送器 + 温度变送器做全局预警，兼顾成本和安全。

极简选型示例（真空烧结炉）

回路清单： ① 分子泵水冷支路 → 流量开关 1（联锁分子泵） ② 加热电极水冷支路 → 流量开关 2（联锁加热） ③ 炉体夹套水冷支路 → 流量开关 3（夹套超温报警，按需联锁） → 一共 3 只流量开关。 总管增设：水压变送器 + 温度变送器（预警，不替代分支联锁）

一句话规格书描述

各独立冷却支路分别配置流量开关，实现支路独立断流保护；总管流量监测仅用作全局趋势预警，不可替代分支安全联锁；测点布置于支路回水满管段，前置过滤器，远离泵脉动与管顶积气位置，各支路报警、联锁逻辑独立。