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扩散硅压力变送器定义

来源:基尔普朗克传感器(上海)有限公司
2026-03-31 返回列表
扩散硅压力变送器:是以单晶硅材料为核心敏感元件,利用半导体扩散工艺在硅片上形成惠斯通电桥,基于压阻效应压力 / 差压物理量,转换成4–20mA、0–10V、RS485等标准工业电信号的高精度压力测量仪表

1. 核心定义拆解

  • 敏感元件单晶硅片(高纯度、低应力、稳定性极强)

  • 关键工艺半导体扩散(硼 / 磷等杂质扩散,形成压敏电阻)

  • 核心效应压阻效应

    压力 → 硅片形变 → 电阻值变化 → 电桥失衡 → 输出电压信号

  • 功能定位

    把气体、液体、蒸汽的压力 / 绝压 / 表压 / 差压,变成工控系统可直接读取的标准信号。


2. 完整工作原理(详细版)

  1. 压力输入

    被测介质压力作用在不锈钢隔离膜片上。

  2. 压力传递

    膜片内侧填充硅油,将压力均匀传递到内部硅芯片

  3. 硅片形变与电阻变化

    压力使单晶硅片微小变形,扩散在硅上的四个压敏电阻阻值同步改变。

  4. 惠斯通电桥输出

    电桥从平衡→失衡,输出mV 级微弱电压信号

  5. 信号处理

    放大、温度补偿、线性校正、稳压后,输出:

    • 模拟量:4–20mA(工业最常用)

    • 数字量:RS485(Modbus)

  6. 最终输出

    接入 PLC、DCS、数显表,实现压力显示、控制、远传。


3. 结构组成(详细)

  • 过程连接:螺纹 / 法兰(M20×1.5、1/2NPT 等)

  • 隔离膜片:316L、哈氏合金、蒙乃尔(防腐适用)

  • 充液:硅油(传递压力、隔热、保护芯片)

  • 核心芯片:扩散硅压敏芯片

  • 电路模块:放大、温补、线性化、稳压

  • 外壳:铝合金 / 不锈钢,防爆、防水、抗干扰


4. 关键特点(定义里的性能属性)

  • 高精度:典型 ±0.1%FS、±0.2%FS、±0.5%FS

  • 响应快:毫秒级,适合动态压力

  • 温漂小:内置温度补偿,适应宽温环境

  • 稳定性高:长期漂移小,适合连续在线监测

  • 通用性强:量程覆盖广,可测液压、气压、炉膛压力、液位等


5. 一句话总结(标准定义)

扩散硅压力变送器是采用单晶硅扩散压敏芯片,利用压阻效应将压力转换为标准电信号,具备高精度、高稳定性、宽温度范围的工业压力测量变送器,广泛用于石油、化工、电力、冶金、环保、工控等自动化领域。


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