敏感元件:单晶硅片(高纯度、低应力、稳定性极强)
关键工艺:半导体扩散(硼 / 磷等杂质扩散,形成压敏电阻)
核心效应:压阻效应
压力 → 硅片形变 → 电阻值变化 → 电桥失衡 → 输出电压信号
功能定位:
把气体、液体、蒸汽的压力 / 绝压 / 表压 / 差压,变成工控系统可直接读取的标准信号。
压力输入
被测介质压力作用在不锈钢隔离膜片上。
压力传递
膜片内侧填充硅油,将压力均匀传递到内部硅芯片。
硅片形变与电阻变化
压力使单晶硅片微小变形,扩散在硅上的四个压敏电阻阻值同步改变。
惠斯通电桥输出
电桥从平衡→失衡,输出mV 级微弱电压信号。
信号处理
经放大、温度补偿、线性校正、稳压后,输出:
模拟量:4–20mA(工业最常用)
数字量:RS485(Modbus)
最终输出
接入 PLC、DCS、数显表,实现压力显示、控制、远传。
过程连接:螺纹 / 法兰(M20×1.5、1/2NPT 等)
隔离膜片:316L、哈氏合金、蒙乃尔(防腐适用)
充液:硅油(传递压力、隔热、保护芯片)
核心芯片:扩散硅压敏芯片
电路模块:放大、温补、线性化、稳压
外壳:铝合金 / 不锈钢,防爆、防水、抗干扰
高精度:典型 ±0.1%FS、±0.2%FS、±0.5%FS
响应快:毫秒级,适合动态压力
温漂小:内置温度补偿,适应宽温环境
稳定性高:长期漂移小,适合连续在线监测
通用性强:量程覆盖广,可测液压、气压、炉膛压力、液位等
