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RΔR:电阻相对变化
K:灵敏系数(金属一般 2 左右,半导体很大)
ε:应变(微小形变)
形变 → 电阻变 → 电桥失衡 → 输出电压信号
再经放大、AD 转换,得到压力、力、位移等物理量。
靠几何形变改变电阻
灵敏度低、温度系数小、线性好、稳定
多用于应力、应变、称重、荷重。
主要靠压阻效应:应力改变材料内部能带结构,电阻率剧烈变化
灵敏度远高于金属,体积小
典型应用:扩散硅压力传感器 / 压力变送器。
压力变送器、液压 / 气压测量
电子秤、拉力 / 压力传感器
微机电(MEMS)加速度、压力芯片
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