热式气体质量流量计 注意事项

一、安装前注意

1. 必须确认被测气体种类

   热式是按气体标定的，氦气、氢气、氮气、空气不能混用，否则误差极大。

   氦检场景必须用He 标定，不能用 N₂替代。
2. 严禁用于含液、含油、含水的气体

   液体、油雾、冷凝水会覆盖传感器，导致读数漂移、无信号、永久损坏。

   氦检气路建议加过滤器 + 干燥器。
3. 注意耐压与材质

• 半导体 / 氢能常用 SUS316L 防腐

• 高压充注要确认耐压等级，一般 1.6～3MPa

  禁止超压使用，会损坏内部分流管。

4. 安装方向

   多数热式质量流量计水平安装最佳；

   垂直安装时尽量气流向上，避免积液沉积在传感元件上。

二、气路与管路注意

1. 前后直管段要求

   为保证流场稳定：

• 上游：≥ 5DN

• 下游：≥ 3DN

  避免紧接弯头、阀门、变径，否则流量波动、不准。

2. 密封与漏率控制

   氦检漏系统本身对漏率敏感，流量计接头必须：

• VCR / 卡套密封可靠

• 无虚拧、无划伤

  外部微漏会被误判为工件泄漏。

3. 避免剧烈震动

   震动会导致零点漂移、读数跳动，尤其微流量（sccm 级）更明显。

三、使用与测量注意

1. 必须预热稳定

   热式需要加热稳定，一般开机预热 15～30 分钟，否则零点飘、误差大。

   高精度氦检建议预热 30 分钟以上。
2. 严禁超量程使用

   超量程会导致：

• 测量失真

• 传感器过热损坏

  小流量检漏（0.1～10 sccm）必须选小量程专用型号。

3. 温度变化会影响零点

   环境温度骤变会导致零点漂移。

   高精度应用建议：

• 环境温度稳定

• 选择带温度自动补偿的机型

4. 避免频繁启停冲击

   突然开关阀造成气流冲击，会损伤传感元件。

   氦检充注建议缓慢升压、缓慢开启。

四、氦检漏专用特别注意（重点）

1. 氦气标定≠空气 / 氮气标定

   氦分子导热系数差异大，用空气标定的表测 He 会严重偏小。

   氦检必须明确标定气体为He。
2. 微漏测量时必须校零

   每次检漏前：

• 关闭上下游阀

• 保压状态下自动校零 / 清零

  否则微小泄漏会被背景噪声覆盖。

3. 不能用于真空侧直接测量

   热式不适合高真空环境，一般用于常压 / 正压充注、保压、检漏。

   真空检漏通常用质谱检漏仪 + MFC 控制示踪气。
4. 混合气体需重新标定

   如氦氮混合气（5%/10% He），不能直接用纯 He 系数换算，误差大，需混合气体标定。

五、维护与寿命注意

1. 定期清洁过滤器

   粉尘、杂质会堵塞分流通道，导致流量偏低。

   建议1～3 个月检查一次。
2. 不要自行拆解传感器

   内部传感丝极细，一碰即断，拆解无保修。
3. 长期不用需吹扫、密封保存

   防止灰尘、潮气进入，保持气路干燥。
4. 出现以下情况需重新标定

• 零点长期飘移无法回零

• 流量明显不准

• 维修、更换过滤器后

  半导体 / 氦检场景建议每年标定一次。

六、常见故障快速判断

• 读数不动：传感器损坏、气路堵死、无流量

• 读数偏大 / 偏小：气体不匹配、未预热、未校零

• 跳动不稳：震动、流场乱、漏气、电磁干扰

• 零点下漂：温度变化、传感器污染