真空计按测量原理完整分类

真空计核心分为两大类：直接测压真空计（力学式）、间接测压真空计（分子 / 热 / 电离式），分别对应粗低真空、中高 / 超高真空，下面按原理细分，附带量程、原理、特点。

一、直接测量型（力学变形原理，直接感知气体压力作用力）

依靠气体压力作用在薄膜、活塞、弹簧产生形变，读数不受气体种类影响。

液柱式真空计
原理：利用液体重力平衡气压，如 U 型水银压力计、油式压差计。
量程：大气压～1 Torr
特点：基准标准真空计，精度高，有毒、易碎，仅实验室标定使用。
弹性元件真空计（薄膜 / 膜盒 / 波纹管真空计）
原理：金属膜片、波纹管受压差发生弹性形变，机械结构带动指针输出信号；法兰隔膜真空变送器也属于该原理延伸。
量程：100kPa～1Pa（粗真空、低真空）
细分：膜盒真空计、电容薄膜真空计

压力越低，气体分子特性变化越明显，适合中真空、高真空、超高真空；测量数值与气体种类相关，需要修正。

皮拉尼真空计（电阻热传导真空计）
原理：加热金属丝，气体分子带走热量，气压越低散热越慢，丝电阻随温度变化，通过电阻换算真空度。
量程：1000 Pa ~ 1×10⁻¹ Pa
适用：工业普通低、中真空，镀膜、真空泵监测。
热电偶真空计
原理：热丝散热温度由热电偶采集热电势，电势对应真空压力。
量程、用途与皮拉尼接近，成本更低，精度略差。

转子真空计（旋转磁悬浮分子真空计）

原理：磁场悬浮金属小球高速旋转，气体分子摩擦阻力降低转速，转速衰减程度反映真空度。

量程：1 Pa ~ 1×10⁻⁷ Pa

特点：测量值几乎和气体种类无关，高真空标准计量设备。

适合高真空、超高真空，极低气压下分子电离微弱电流表征压力。

热阴极电离真空计（三极管电离规）
原理：灯丝加热发射电子，撞击气体分子产生离子，离子电流正比气体分子密度。
量程：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa
冷阴极电离真空计（潘宁规、磁控规）
原理：无热灯丝，电场 + 磁场束缚电子持续电离气体，无灯丝烧毁风险，耐污染。
量程：1 Pa ~ 1×10⁻⁹ Pa
细分：普通潘宁规、倒置磁控管规（超高真空专用）
超高真空热阴极电离规（BA 规、Bayard-Alpert 规）
改良型电离计，降低 X 射线光电流干扰，量程延伸至超高 / 极高真空。
量程：1×10⁻⁴ ~ 1×10⁻¹¹ Pa