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热式气体质量流量计的工作原理

来源:基尔普朗克传感器(上海)有限公司
2026-06-26 返回列表

热式气体质量流量计完整工作原理

一、核心基础理论:热扩散 / 热传导原理

热式气体质量流量计的底层物理依据是金氏定律(King’s Law):气体流过加热探头时,流体带走的热量与气体质量流量直接相关,和温度、压力、体积无关,这也是它无需温压补偿就能直读质量流量的核心优势。
热量传递分为两种形式:
  1. 强制对流散热:气流冲刷加热元件,带走热量;流速越大、气体分子越多,散热越快;

  2. 分子导热:不同气体导热系数不同,同等流量下散热能力有差异,仪表内置气体标定系数修正。

仪表内部存在两根匹配的铂电阻温度传感器,分为两类:加热传感探头(加热铂丝)参考温度探头(测温铂丝)

二、主流两种结构原理对比

(一)插入式热式(双探头结构,工业最常用)

1. 探头结构

  • Rₛ(传感热探头):主动通电加热,温度恒定高于介质温度(温差一般 30~60℃);

  • Rᵣ(参考冷探头):不加热,仅实时测量管道内气体的实际温度,作为基准;

    两根探头材质、阻值完全一致,封装在不锈钢保护套管内,插入管道与气流垂直。

2. 两种控制工作模式

模式 1:恒温差模式(绝大多数工业仪表采用)
  1. 电路持续监测两根铂电阻的温度差 ΔT = Tₛ - Tᵣ,设定固定温差;

  2. 无气体流动时:散热极慢,维持固定温差只需要很小加热功率;

  3. 气体流过探头:气流持续带走热探头热量,探头温度下降、温差缩小;

  4. 仪表自动增大加热电流 / 功率,把温差拉回设定值;

  5. 逻辑关系:气体质量流量越大 → 散热越快 → 需要的加热功率越高

    控制器采集实时加热功率,通过金氏定律换算成气体质量流量(kg/h、Nm³/h)输出。

模式 2:恒功率模式(小型、微量气体)
加热功率固定不变,气流越大,热探头被冷却后的温度越低,两根探头温差 ΔT 随流量增大而减小,通过温差变化计算流量。
缺点:低流速灵敏度差,工业大管道很少使用。

(二)管道式热式(分流毛细管结构,小流量)

适合小管径、微量气体,主管道设置分流毛细管,毛细管内置热传感元件:
  1. 气体按固定比例分流进入毛细管;

  2. 毛细管内加热元件被气流冷却;

  3. 通过热量损耗计算分流质量流量,再按分流比换算总管总流量;

    多用于实验室、高纯气体、小量程供气。

三、信号转换与计算逻辑

  1. 铂电阻随温度变化改变电阻值,电桥电路将温差 / 功率转化为电压模拟信号;

  2. 主板内置气体数据库:空气、氮气、氧气、氢气、天然气、沼气等每种气体导热系数、比热容参数独立存储;

  3. 输入介质种类后,仪表自动匹配对应修正系数,消除不同气体导热差异带来的测量误差;

  4. 输出标准信号:4–20mA、RS485/Modbus、脉冲频率,直接输出标准质量流量,区别于涡街、涡轮等体积流量计。

四、关键特性原理解析

  1. 直接测质量流量,无需温压补偿
    体积流量计测量的是工况体积,气体密度随压力温度变化;热式测量单位时间流过的气体分子总热量,只和分子数量(质量)相关,压力、温度小幅波动不影响读数,简化系统配套。
  2. 低流速灵敏度优势
    极低流速(0.1m/s 以内)依然能捕捉微弱散热变化,适合微小吹扫气、尾气、微量工艺气测量;
  3. 介质导热系数影响原理
    同等质量流量下:氢气导热远强于空气,带走热量更多;二氧化碳导热弱。仪表必须按实际介质标定,混用气体直接会产生大幅测量偏差。

五、完整工作流程举例(恒温差插入式)

  1. 仪表上电,参考探头 Rᵣ测出管道气体常温 25℃;

  2. 系统设定温差 40℃,热探头自动加热至 65℃;

  3. 管道无气流:仅自然散热,加热功率 0.3W;

  4. 风机开启,气体以 20Nm³/h 流过探头,持续带走热量;

  5. 温差下降至 22℃,电路立刻提升加热功率至 1.8W,重新稳定 40℃温差;

  6. 芯片采集 1.8W 加热功率,调用空气标定曲线,换算输出质量流量 20Nm³/h;

  7. 实时累积总质量流量,同时上传数字 / 模拟信号至 PLC。

六、测量干扰对应的原理根源

  1. 粉尘、油污附着探头:包裹隔热层,散热受阻,同等流量下加热功率偏小,读数偏低;

  2. 水汽冷凝在探头:水导热远大于气体,散热异常,流量虚高;

  3. 双探头安装不对称:气流只冲刷单根探头,温差失真;

  4. 气体组分变化:混合气体导热系数改变,原有标定系数失效,产生系统误差。

补充:热式与其它流量计原理核心区别

  • 涡街 / 涡轮:测工况体积流速,依赖温压补偿转标况;

  • 差压式孔板:测动能差,间接推算流量;

  • 热式:依靠热交换量直接检测气体质量,原理上最适配气体质量计量场景。


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