真空负压变送器专门测量低于当地大气压的压力(真空度),将负压物理量转换成标准工业电信号(4-20mA/0-10V/HART/RS485),送入 PLC、触摸屏实现真空闭环控制。
表压负压(G,工业最常用)以现场大气压为零点,量程 -100kPa~0kPa;大气压时输出 4mA,真空越高输出越大(20mA 对应满真空)。
适用:真空泵、真空包装、负压吸料、除尘、真空干燥箱、暖通负压。
缺点:天气、海拔变化会轻微影响零点。
绝压真空(A,精密真空专用)以绝对真空 0Pa为基准,不受大气波动干扰;量程 0~100kPa 绝压。 适用:半导体镀膜、锂电真空炉、实验室、真空蒸馏、高精度腔体。
表格
| 类型 | 精度 | 优势 | 适用真空场景 |
|---|---|---|---|
| 扩散硅压阻式 | ±0.25%~0.5%FS | 价格低、体积小、响应快 | 粗真空(-10~-100kPa)、包装、风机、真空泵 |
| 陶瓷电容式 | ±0.05%~0.2%FS | 温漂小、洁净无油、稳定性高 | 制药、锂电、镀膜、微负压精密控制 |
| 单晶硅谐振式 | ±0.01%FS | 超高精度、长期漂移极小 | 实验室、计量、高端半导体腔体 |
工作流程:负压作用隔离膜片→芯体形变→电阻 / 电容变化→调理电路放大、温度补偿→线性标准信号输出。
感压芯体:316L 不锈钢隔离膜片,隔离介质保护传感芯片;腐蚀工况可选 PTFE、哈氏合金膜片。
信号调理电路板:内置温度补偿、滤波、线性校正,抑制负压工况零点漂移。
外壳与接线:标准赫斯曼接头(IP65)、防爆壳体(Ex ia/Ex d);一体式数显可选。
过程连接:标准 M20×1.5 外螺纹,也可定制 G1/2、NPT1/4、法兰、卫生卡盘。
-1kPa~0、-5kPa~0、-10kPa~0
场景:洁净室负压、通风管道、医疗负压病房、微量负压吸料。
-20kPa~0、-50kPa~0
场景:真空过滤、小型干燥机、除尘负压。
-100kPa~0kPa(-0.1MPa~0)
场景:真空泵系统、真空包装、化工负压精馏、注塑吸料。
±10kPa、±50kPa、±100kPa,可同时测负压 + 轻微正压,防止系统倒灌正压损坏膜片。
设备最大工作负压≤满量程 80%,预留 20% 安全余量;例:常态 - 80kPa 工况,必选 -100kPa~0 量程。
输出信号
二线制 4-20mA(主流,适配 PLC,远距离抗干扰)
0-5V/0-10V(短距离控制柜本地)
智能款:HART 协议、RS485 Modbus(远程读写量程、零点)
精度等级:通用 ±0.5% FS;精密 ±0.25%、±0.1% FS;计量级 ±0.05% FS
温度范围:标准 -20~80℃;高温型 -40~125℃(配散热底座)
防护 / 防爆:常规 IP65;防爆 Ex ia IIC T4 用于油气、化工真空釜;卫生级 3A 卡盘用于食品制药
过载保护:负压侧满量程,正向可承受 0.2MPa 防倒灌冲击
安装方位垂直向上安装,引压口朝下,避免冷凝水、粉尘堆积堵塞膜片;严禁倒置。
密封要求(真空测量核心)
螺纹缠绕生料带,O 型圈完好无破损;接头必须完全拧紧,漏气会导致负压测量永远偏高。
导压管尽量短、直、粗,长度≤5m,减少真空泄漏与响应滞后;长管路加装小型真空过滤器。
布线4-20mA 二线制用屏蔽电缆,屏蔽层单端接地;远离变频器、电机等强干扰源。
环境规避避开持续强振动(振幅>0.1mm 需加减振支架)、高温辐射、强腐蚀气体直吹。
通用工业:真空泵负压监测、真空包装机、注塑吸料、除尘风机负压、真空干燥箱
化工 / 制药:负压精馏、真空浓缩、无菌负压车间、过滤抽滤(卫生卡盘款)
新能源:锂电真空烘烤炉、电解液负压输送、氢系统真空检漏
半导体 / 镀膜:高真空腔体(绝压变送器)、溅射机真空度闭环控制
医疗 / 环保:负压病房、负压吸引装置、废气负压收集管道
测量负压数值偏高(抽不动真空)原因:螺纹 / O 圈漏气、引压管渗漏、过滤器堵塞;处理:重新密封、更换密封圈、吹扫管路、常压校零。
零点漂移严重(常压下信号偏离 4mA)原因:温度变化大、膜片疲劳、长期满真空运行;处理:断电后常压零点校准,高温工况选用宽温补偿款。
信号频繁跳变、波动大原因:振动干扰、管路负压脉动、线缆屏蔽失效;处理:加装阻尼、减振支架、更换屏蔽线、电路板开启数字滤波。
微负压无响应,始终显示 0原因:量程选太大、芯体灵敏度不足、管路堵塞;处理:更换小量程微负压变送器,清理引压孔。
每 3~6 个月做一次常压零点校准(通大气复位零点);精密真空设备缩短至 1 个月。
腐蚀性介质定期拆卸清洗膜片,禁止硬质工具刮擦隔离膜。
带压严禁拆卸变送器,先破真空泄压再拆装。
长期停机存放前排空管路冷凝液体,避免膜片腐蚀。
确定基准:粗真空选表压 G;精密腔体 / 消除大气干扰选绝压 A
确认最大负压,按 80% 负荷选对应量程
介质:普通空气 316L;腐蚀介质哈氏 / PTFE;食品制药卫生卡盘
精度:普通产线 ±0.5%;精密工艺 ±0.1%~0.25%
输出:远距离自控 4-20mA;智能调试选 HART/RS485
环境:防爆、高温、防水按需升级壳体
